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激光切割的加工区域有什么要求?
编辑:南京市雨花台区新乐不锈钢加工部   发布时间:2020-02-14

光学显微镜具有体积小、价格便宜、操作简便等优点,容易实现对加工区域的快速检测,在飞秒激光微细加工的检测中得到了广泛的应用。光学显微镜还可以实现对透明材料内部的被南京激光切割加工区域的观察和检测。

光学显微镜具有体积小、价格便宜、操作简便等优点,容易实现对加工区域的快速检测,在飞秒激光微细加工的检测中得到了广泛的应用。光学显微镜还可以实现对透明材料内部的被激光切割加工区域的观察和检测。但光学显微镜在检测过程中,由于其视野和焦深范围有限,观测的广度和深度范围有限,使得其观测范围受到了很大的限制。

对于加工区域的表面形貌的检测更多地使用扫描电子显微镜。扫描电子显微镜具有很好的视野和焦深,可以对激光切割加工区域的表面形貌进行检测。扫描电子显微镜从20世纪60年代开始被应用以来,使用范围日益广泛。它是利用高能量、细聚焦的电子束在试件表面扫描激发二次电子,利用二次电子信息对试件表面的组成或形貌进行检测、分析和成像的一种电子光学仪器。

扫描电镜放大倍率在20~50000倍范围内连续可调,在普通热钨丝电子枪条件下,二次电子的分辨率为5-6mm,如用场发射电子枪,则分辨率可提高到2-3mm。激光切割扫描电镜还有一个很好的性能,即检测时有很大的景深,因此,即使试件表面很粗糙、高低伏很大,也能得到很清晰的表面组织图像。


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